嵌入微反应器系统气体传感器的自检程序(2)
文章出处:如特安防 人气:发表时间:2018-09-03 10:38:55
本论文第一部分,我们考虑在加热型金属氧化物表面,六甲基二硅醚(HMDS)的中毒交互作用。在这个上下文中,HMDS被当作参照物质,站在所有毒药的一边,趋向于在加热型金属氧化物表面形成钝化覆盖层(硅烷、硅酮、硅酸盐、氧化铅薄膜生成物、硫化物、磷酸盐、有机卤化物[21,22,25,26,27,28,30])。首先的考虑说明HMDS中毒能有一个大的冲击,针对纯净空气中传感器基线电阻R0的量级,和针对气体诱导电阻变化∆R = R0 − Rgas。第二,因R0 和 ∆R 按同样的方式衡量,我们知道相关电阻反应的值Resp = ∆R/R0 是非常好的瞬间的气体浓度Cgas(t)的指示器。第三,我们的中毒试验,说明在Resp的计算中内在的标准化,不足以去除传感器退化的所有影响。特别地,当分析物分子与小分子团相对时HMDS中毒有对Resp一个大的影响。 然而,在实验条件下,所有这些影响易于评定。实验条件中,气体试验台的控制信号可用于在实验气体暴露之前评估电阻R0,在试验气体暴露之后评估电阻Rgas;这是不可能的,在野外条件下,传感器是持续暴露于环境中。
本论文的第2部分,我们证明:当MOX气体传感器嵌入微型反应室时,在野外条件下也能提供控制信号,来估算Resp的值。这样的微型反应系统允许在参照空气和测试气体条件下,嵌入的气体传感器定期地运作,从而在近乎相似的时间ti 和 ti+1,∆t小到不足以包括任何大小的R0 and ∆R漂移,成对测量R0 和∆R 值。有了这些成对的R0 和 ∆R 值,可以得到Resp正确的漂移值。
本论文的最后部分,我们说明电阻响应为Resp时,HMDS中毒的残留影响,没有在漂移纠正过程中退出,可利用电容性的湿度传感器参照测量。这些后来的测量通过改变所有实际应用环境的湿度进行,应用环境把水蒸汽当成理想自由可用的参照气体。电容性的湿度传感器的关键价值是那些室温操作,不能提供热能输入,需要把重粘吸附剂变换成浓厚的、固体的钝化层。 电容性的湿度传感器所以是理想适用于在加热型MOX表面检测中毒交互作用。
本文将完善开发与优化问题。
本论文的第2部分,我们证明:当MOX气体传感器嵌入微型反应室时,在野外条件下也能提供控制信号,来估算Resp的值。这样的微型反应系统允许在参照空气和测试气体条件下,嵌入的气体传感器定期地运作,从而在近乎相似的时间ti 和 ti+1,∆t小到不足以包括任何大小的R0 and ∆R漂移,成对测量R0 和∆R 值。有了这些成对的R0 和 ∆R 值,可以得到Resp正确的漂移值。
本论文的最后部分,我们说明电阻响应为Resp时,HMDS中毒的残留影响,没有在漂移纠正过程中退出,可利用电容性的湿度传感器参照测量。这些后来的测量通过改变所有实际应用环境的湿度进行,应用环境把水蒸汽当成理想自由可用的参照气体。电容性的湿度传感器的关键价值是那些室温操作,不能提供热能输入,需要把重粘吸附剂变换成浓厚的、固体的钝化层。 电容性的湿度传感器所以是理想适用于在加热型MOX表面检测中毒交互作用。
本文将完善开发与优化问题。
本文原著:A. Helwig, A. Hackner, G. Müller, D. Zappa, G. Sberveglieri
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本文标签字:中毒 金属氧化物MOX 微电子机械系统MEMS 微型反应 气体传感器 漂移 自检 微型加热器
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