嵌入微反应器系统气体传感器的自检程序(8)

    图10中的数据使人想起，这些实际可能存的不会受伤害的传感器。数据首先证明室温运作的电容性湿度传感器[45]是完全选择水蒸汽。这衍生自电容性湿度传感器卓越的敏感性，对吸附水(εH2O ≈ 81)的高介电常数(DK)的作出反应，吸附水的高介电常数(DK)远超几乎所有的别的有趣活性气体的DK。第2重要的观察，是电容性湿度传感器，经持续很久的HMDS中毒后，是极端地能复原的。图10顶部面板内的数据显示这些特征，特别与在原始状态，和暴露在高浓度HMDS水蒸气中1000秒后的湿度反应相一致辞。MOX气体传感器，相比之下，仅在HMDS中几秒，遭受严重地退化反应。电容性湿度传感器对HMDS中毒的免疫力，明显地源于这些是室温操作，因而不能为HMDS水蒸汽转换成密集的钝化层，提供热能输入。结果，加热型MOX气体传感器从HMDS水蒸汽中，比电容性湿度传感器受到较严重的损害。