嵌入微反应器系统气体传感器的自检程序(6)
文章出处:如特安防 人气:发表时间:2018-09-03 10:38:55
图7报告另一丙炔采样试验结果。在这个试验里,通过每隔2分钟操作微型泵,三个递增浓度的丙炔样品从旁线通路中取入EMRS。像预期的那样,显示在图7a中,在每一取样事件中,MOX传感器电阻降低,因浓度依赖量。关于第1次试验的主要差别是,成功的采样事件,由超过2小时的无气流操作及时分开,让MOX传感器慢慢回归接近到它的基线,简单靠燃烧丙炔,丙炔已在前面的采样期被捕获。这后来试验的成功再一次强调在EMRS内部和外部,无气流阶段动态分离的功效,并有第2个重要结果——基线间隔复原的可行性。从合理已知的的基线电阻,巨大的气体诱导电阻变化,可在每一取样事件中清楚地估算,以及相关的电阻反应评估(图 7b)。为了清晰度,相关电阻检测处理的较详细节显示在图7c中。
到目前,我们还在处理EMRS,EMRS内置的加热型催化剂还没有激发。在这EMRS中,转换活性气体样品为不能燃烧的参照气体的任务,仅仅留给MOX气体传感器,有限的大小、温度和催化活性。当内置的催化剂被激活,恢复到基线电阻的速率可能明显增强。后来的效果显示在图8中。在本试验,做了3种丙炔气体样品处理(A–C),接着4道处理过程,在处理中氢气作为样品(D–G)。在处理B、E和G过程中,加热型催化剂额外加热到500°C。在这些后来处理中,MOX传感器电阻,在后采样无气流期间初始的提升,相当陡峭的,这是跟在非激活参照处理过程A、C、D 和 F相比而言的。乍看之下,当催化剂起作用时,好像达到了一个较低的基线电阻。然而,当催化剂关掉后,恢复到最初基线水平。过后,EMRS内部的余热分散 ,传感器操作温度回到它最初的水平。 另外,还要考虑催化剂运作也将提升微型反应器内部的压力,因而导致内部空气被推出去。如上催化剂关闭,内部压力将再减小,一些外部空气将被抽进。目前试验,这关闭已依次进行,干燥合成空气流进旁线通路,通过吸收额外新鲜空气,也能促进基线的恢复。可能地,我们看到这点,对内部和外部空气量的无阀动态分离,有个限制。未来,EMRS设计,更仔细设计的流阻,是可能地改良这种情况。
本文原著:A. Helwig, A. Hackner, G. Müller, D. Zappa, G. Sberveglieri
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本文标签字:中毒 金属氧化物MOX 微电子机械系统MEMS 微型反应 气体传感器 漂移 自检 微型加热器
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