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嵌入微反应器系统气体传感器的自检程序(7)

文章出处:如特安防 人气:发表时间:2018-09-03 10:38:55

5.中毒检测      

    鉴于上面讨论的自检程序允许对要检测的特别气体有相关电阻反应,检测到的Resp 值不揭示那些实际上被激发特别反应的气体的浓度。还有什么仍不清楚的是:是否大量的反应,因传感器某种形式的退化,可能已随时改变。这里,要求测量有关的已知浓度的参照气体。 另外,要求用另一个传感器来测量,它没有遭受随时的任何退化。像第2节提到的,一个免费参照气体是水蒸汽。水蒸汽几乎出现在可想象的应用场景,有变化的、依赖时间的浓度。一个微反应器布置,从原理上,它允许这些参照测量被执行,草拟在图9中。在图9中,我们把自检的MOX气体传感器和一个湿度传感器组合在一起。湿度传感器 退化处理后能复原的,退化处理可能使MOX气体传感器性能恶化。两个传感器嵌入在它们自已的微型反应腔中,避免在传感器之间的热与化学串扰。气流和无气流条件的交替,由一个普通的微型泵来执行。至于泵入,外部空气吸来穿过两个腔室。然而,MOX气体传感器,用一个传感电阻变化不响应未知外部大气。湿度传感器简单测量环境中相关的湿度。后面的测量,当然,要求湿度传感器完全地选择水蒸汽。至于泵出,两微型反应器是密封的。然而,在湿度参照腔内,湿度将简单保侍常量,环境空气值,捕获的气体在MOX微型腔内与加热MOX表面交互作用,转化为较少活性后续产品。然而,H2、范围广泛的碳氢化合物和CO,例如,转换成 CO2 和 H2O,环境湿度联合,伴同捕获活性气体,将简单地保持不变[36,37]。因为  CO2 不被MOX气体传感器检测,MOX气体传感器的饱和电阻接近与环境空气中湿度水平相一致电阻。这种情况下,测量的环境湿度和最终MOX传感器电阻被储存,在不同环境湿度水平,经过一些时间,同样的过程是重复的。MOX传感器电阻能被估算为环境空气湿度水平的功能。通过比较测量函数与校准线,校准线已建立在同一传感器的原始的状态。气体反应中,退化引起的变化能被检测到。为了成功,这个过程明显要求湿度传感器的存在,湿度传感器完全地选择湿度,不会受到反应性物种的伤害,反应性物种导致MOX传感器退化。
图9: 自检的EMRS传感器组使MOX气体传感器有特色,和电容性的湿度(rh)参照传感器。

 
    本文原著:A. Helwig, A. Hackner, G. Müller, D. Zappa, G. Sberveglieri
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    本文标签字:中毒    金属氧化物MOX    微电子机械系统MEMS    微型反应    气体传感器    漂移    自检    微型加热器   

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